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新建产线中设备支出占比高达80%,ASML看好中国市场未来表现
CICD2018

摘要:随着全球新建的晶圆厂不断向国内集中,设备的投入也是与日俱增。作为世界领先的半导体设备制造商,ASML在中国的业务比重越来越大。据ASML中国区总裁沈波透露,2018年上半年中国市场占其总营收约20%,预计全年平均约可达到15%左右。

集微网(文/茅茅)随着中兴事件,以及中美贸易摩擦的不断升温,人们开始逐渐认识到集成电路的重要性。但是集成电路行业因其高投入、高风险、周期长、回报慢的特点,总会使得众多企业望而却步。与此同时,发展集成电路也是一项系统性工程,需要设计、制造、封测、材料、设备等全产业链的整体提升。

目前,在全球集成电路行业中,中国在IC设计和封测领域都已拥有一定的话语权,但是在设备和材料领域却仍处于落后阶段。众所周知,设备和材料业处于产业链的最上游,虽然整体市场规模较小,但是技术门槛较高,重要性也不言而喻。尤其是对于设备业来说,随着全球新建的晶圆厂不断向国内集中,设备的投入也是与日俱增。

半导体设备的投入与日俱增

毋庸置疑,中国是全球集成电路产业上发展最快的区域。据国际半导体协会(SEMI)预估,2017年到2020年全球将有62座新晶圆厂投产,其中将有26座新晶圆厂座落中国,占比达42%。值得一提的是,新晶圆制造厂从建立到生产的周期大概为2年,一条新建产线最大的资本支出来自于半导体设备,资本支出占比高达80%,而厂房建设占比仅20%。

来自西南证券的报告指出,根据2017年美国加州UC Berkeley大学的理论数据,一条月产12英寸硅片5万片的生产线,需要50台光刻机、10台大束流离子注入机、8台中束流离子注入机、40台付蚀机以及30台薄膜淀积设备等,估计各类设备的总计台(套)要超过500个。

由此可见,随着新建晶圆厂的不断增加,半导体设备的重要性也变得越发不容忽视。

据集微网了解,在整个半导体制造设备中,晶圆制造设备的占比最大,投资占比高达80%。而在晶圆制造设备中,又以光刻机的占比最高,约占30%,其次分别是刻蚀设备(20%),PVD(15%),CVD(10%),量测设备(10%),离子注入设备(5%)等。

光刻工艺定义了半导体器件的尺寸,是IC制造中的关键环节。而光刻机作为光刻工艺的核心设备,也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备,涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术,其设备投入相应最多,目前世界上最先进的ASML EUV光刻机单价达到一亿欧元(约8亿元人民币)。

高端光刻机的垄断者ASML

从全球市场来看,光刻机长期由ASML、尼康和佳能三家把持。西南证券的报告指出,从2011-2017历年全球光刻机出货比例可以看出,ASML、尼康和佳能三家公司几乎占据了99%的市场份额,其中ASML光刻机市场份额常年在60%以上,市场地位极其稳固。

值得一提的是,在顶级光刻机市场中,ASML处于一家独大的格局。2011-2017年顶级光刻机累计出货量中,EUV完全由ASML垄断,出货来源达到100%,ArFi光刻机超过80%也都由ASML提供。尼康和佳能的先进制程远落后于ASML,主要市场在中低端,最大优势仅在于成本。

作为世界领先的半导体设备制造商,ASML公司一直保持着高水平的营业收入和净利润。尤其是自2016年推出EUV设备后,营收和净利润再次实现大幅增长。平均来说,目前ASML中高端设备单台售价超过7000万美元(约4.8亿元人民币),高端EUV设备单台售价超过1亿美元(约6.8亿元人民币)。

图源:西南证券

从ASML的2018年第一季度财报来看,第一季度实现营收22.85亿欧元(约182亿元人民币),高价值的EUV销售量仅一台就贡献7%的营收,公司预计2018全年EUV收入将达到21亿欧元(约167亿元人民币)。而从终端市场看来,主要下游市场在于存储芯片,营收12.27亿欧元(约98亿元人民币),占比达53.7%,较2017年的32.8%有很大提升。

ASML开始积极扩展中国市场布局

随着中国在全球集成电路行业中的地位不断提升,以及全球新建的晶圆厂不断向中国集中,ASML也开始加大在中国市场的布局。在近日于无锡举办的“ 2018中国集成电路产业发展研讨会暨第二十一届中国集成电路制造年会”上,ASML中国区总裁沈波表示,ASML在中国市场已深耕18年,持续引进光刻技术、拓展布建客户服务网络、强化与国内研发单位合作,并积极培养国内光刻人才。

ASML中国区总裁沈波

沈波指出,目前,ASML在中国有13个办公室并设立物流仓储中心,以提高客户支援的效率。同时,ASML在深圳和北京设有上百人的研发中心,负责计算光刻和量测设备关建模组的研发。近期在上海与ICRD合作,成立了第一个培训中心,协助行业培训高端工程人才。

当然,ASML不断加大中国市场布局的最大原因还在于,中国占ASML业务比重越来越大。据沈波透露,2018年上半年中国市场占其总营收约20%,预计全年平均约可达到15%左右。

据集微网了解,从今年年初至今,国内已有多家晶圆厂采购ASML的光刻机设备,且每台都价值不菲。包括中芯国际花费1.2亿美元引进首台EUV光刻机、长江存储花费7200万美元引进首台193nm浸润式光刻机、上海华力微电子引进首台NXT 1980Di光刻机。

对于ASML来说,今年是公司EUV机台上非常重要的一年,因为7nm工艺制程的研发离不开EUV。沈波表示,今年客户会把EUV技术导入量产,目前EUV机台每小时产出片数达125片,在实验室中可达140片,且光源250瓦的稳定性很高。目前公司也在积极扩充产能,从年产能20台,明年提升至30台,后年再提升至40台。

光刻机作为集成电路产业中最具关键性的基础装备之一,重要性不言而喻。从目前来看,ASML在光刻机领域的霸主地位暂无人能够撼动。但是,一颗芯片的生产制造并不是有了光刻机就能确保万无一失,还需要整个产业链上下游众多环节的配合,才能顺利生产。随着中国在全球集成电路产业中的地位提升,而ASML未来在中国市场的表现也值得期待。(校对/叨叨)